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| Chip-Tieftemperaturprüfstand | Kühlung des Lithographiemaschinensystems |
In der Halbleiterfertigung, wo Genauigkeit im Nanometerbereich und extreme Umweltkontrolle von entscheidender Bedeutung sind, liefern unsere mikromagnetischen Zahnradpumpen unübertroffene Leistung in Bezug auf Wärmemanagement und Prozesszuverlässigkeit. Unsere Pumpen gewährleisten eine kontaminationsfreie, präzise und vibrationsfreie Flüssigkeitsübertragung zur Unterstützung der Halbleiterproduktion.
✅ Lithographiesystemkühlung
EUV- und DUV-Lithographiesysteme erfordern eine außergewöhnliche thermische Stabilität, um die optische Ausrichtung aufrechtzuerhalten und thermische Drift zu minimieren. Die mikromagnetischen Zahnradpumpen von Suofu sorgen für eine pulsationsfreie Zirkulation dielektrischer Kühlmittel und erreichen eine Temperaturkontrolle innerhalb von ±0,1 °C. Unser magnetischer Antriebsmechanismus eliminiert mechanische Vibrationen und verhindert so Störungen empfindlicher optischer Komponenten. Diese Stabilität unterstützt direkt die Overlay-Genauigkeit und die Fehlerreduzierung bei Wafer-Strukturierungsprozessen.
✅ Chip-Kryogen-Prüfstände Die
Halbleitercharakterisierung bei kryogenen Temperaturen erfordert eine zuverlässige Flüssigkeitshandhabung ohne Leistungseinbußen. Unsere Pumpen zirkulieren Kühlflüssigkeiten bei Temperaturen von bis zu -120 °C und sorgen dabei für konstante Durchflussraten. Die fortschrittliche Materialkompatibilität der Pumpen gewährleistet die Betriebsintegrität in automatisierten Sondenstationen und Testaufbauten und ermöglicht eine genaue Gerätecharakterisierung über extreme Temperaturbereiche hinweg.
✅ Vibrationsfreier Betrieb: Präzisionsgeformte Zahnräder und Magnetantrieb eliminieren mechanische Vibrationen, die für die Messtechnik und Feinausrichtung von entscheidender Bedeutung sind.
✅ Ultrareine Materialien: Vollständige Flüssigkeitswegkompatibilität mit hochreinen Kühlmitteln; optionale Keramik- und PEEK-Flüssigkeitskontakte zur Vermeidung ionischer Kontamination.
✅ Thermische Stabilität: Leistungsgeprüft über große Temperaturbereiche (-120 °C bis 150 °C), ohne Beeinträchtigung der Durchflussgenauigkeit.
✅ Impulsfreier Fluss: Das proprietäre Getriebedesign sorgt für eine reibungslose Flüssigkeitsabgabe und vermeidet Temperaturspitzen oder -abfälle.
✅ Dichtungslos und leckagefrei: Der hermetisch abgedichtete Magnetantrieb eliminiert das Risiko von Flüssigkeitslecks oder dem Eindringen externer Partikel.
Ob integriert in EUV-Lithographiescanner, Wafer-Inspektionsgeräte oder Kryotestgeräte – unsere mikromagnetischen Zahnradpumpen bieten die Präzision und Zuverlässigkeit, die das Herzstück fortschrittlicher Halbleiterfertigungsprozesse erfordert.
Kontaktieren Sie uns , um Ihre Anforderungen an das Wärmemanagement oder die Präzisionsdosierung zu besprechen – unser Engineering-Team ist auf maßgeschneiderte Lösungen für Hersteller von Halbleitergeräten spezialisiert.
✅ Warum bei kryogenen Tests Magnetzahnradpumpen anstelle von Kreiselpumpen verwenden?
Magnetzahnradpumpen behalten trotz Viskositätsänderungen bei niedrigen Temperaturen stabile Durchflussraten bei, während bei Kreiselpumpen erhebliche Leistungsschwankungen auftreten. Das versiegelte Design verhindert außerdem die Kondensation von Luftfeuchtigkeit in kryogenen Umgebungen.
✅ Was sind eure Kooperationsmodelle? Können Sie OEM/ODM-Dienste anbieten?
Unser internationales Kooperationsmodell umfasst in erster Linie die Entwicklung von Agenten oder Distributoren in Ländern oder Regionen. Wir schließen Agenturverträge ab, bieten Produktschulungen und Preise an und tätigen keinen Direktvertrieb. Relevante Anfragen werden zur weiteren Bearbeitung an die Agenten weitergeleitet. In Ländern oder Regionen ohne etablierte Vertreter agieren wir hauptsächlich über den Direktvertrieb.
Wir können OEM/ODM-Dienstleistungen anbieten.
