반도체 유체 제어용 마이크로 기어 펌프 솔루션

칩 저온 테스트 스탠드	리소그래피 기계 시스템 냉각

반도체 제조용 마이크로 자기 기어 펌프 | 정밀 열 관리 솔루션

1. 고급 반도체 응용 분야를 위한 정밀 유체 처리

나노미터 규모의 정확성과 극도의 환경 제어가 중요한 반도체 제조에서 당사의 마이크로 자기 기어 펌프는 열 관리 및 공정 신뢰성 측면에서 비교할 수 없는 성능을 제공합니다. 당사의 펌프는 오염이 없고 정확하며 진동이 없는 유체 전달을 보장하여 반도체 생산을 지원합니다.

2. 주요 반도체 응용 분야

✅ 리소그래피 시스템 냉각
EUV 및 DUV 리소그래피 시스템은 광학 정렬을 유지하고 열 드리프트를 최소화하기 위해 탁월한 열 안정성이 필요합니다. Suofu의 마이크로 자기 기어 펌프는 유전체 냉각수의 펄스 없는 순환을 제공하여 ±0.1°C 이내의 온도 제어를 달성합니다. 당사의 자기 구동 메커니즘은 기계적 진동을 제거하여 민감한 광학 부품의 교란을 방지합니다. 이러한 안정성은 웨이퍼 패터닝 프로세스의 오버레이 정확성과 결함 감소를 직접적으로 지원합니다.

✅ 칩 극저온 테스트 벤치
극저온에서의 반도체 특성화에는 성능 저하 없이 안정적인 유체 처리가 필요합니다. 당사의 펌프는 일관된 유량을 유지하면서 -120°C의 낮은 온도에서도 냉각 유체를 순환시킵니다. 펌프의 고급 재료 호환성은 자동화된 프로브 스테이션 및 테스트 설정의 작동 무결성을 보장하여 극한 온도 범위에서 정확한 장치 특성화를 가능하게 합니다.

3. 우리 펌프가 반도체에 이상적인 이유는 무엇입니까?

✅ 진동 없는 작동: 정밀하게 성형된 기어와 자기 드라이브는 계측 및 정밀 정렬에 중요한 기계적 진동을 제거합니다.

✅ Ultra-Clean 재료: 고순도 냉각수와 완벽한 유체 경로 호환성; 이온 오염을 방지하기 위한 선택적인 세라믹 및 PEEK 유체 접점.

✅ 열 안정성: 유량 정확도 저하 없이 넓은 온도 범위(-120°C ~ 150°C)에서 성능 테스트를 거쳤습니다.

✅ 무맥동 흐름: 독점 기어 설계로 원활한 유체 전달이 보장되어 온도 급등이나 강하를 방지합니다.

✅ 씰이 없고 누출이 없음: 밀봉된 자기 드라이브는 유체 누출이나 외부 입자 유입의 위험을 제거합니다.

4. 안정적인 유체 제어로 더 높은 수율 실현

EUV 리소그래피 스캐너, 웨이퍼 검사 장비 또는 극저온 테스터에 통합되는 당사의 마이크로 자기 기어 펌프는 첨단 반도체 제조 공정의 핵심에 필요한 정밀도와 신뢰성을 제공합니다.

당사에 문의하십시오 . 당사의 엔지니어링 팀은 반도체 장비 제조업체를 위한 맞춤형 솔루션을 전문으로 합니다. 열 관리 또는 정밀 분배 요구 사항에 대해 논의하려면

5.FAQ

✅ 극저온 테스트에서 원심 펌프 대신 자기 기어 펌프를 사용하는 이유는 무엇입니까?  

• 자기 기어 펌프는 저온에서 점도 변화에도 불구하고 안정적인 유속을 유지하는 반면, 원심 펌프는 상당한 성능 변화를 겪습니다. 밀봉된 디자인은 또한 극저온 환경에서 대기 수분 응축을 방지합니다.

✅ 당신의 협력 모델은 무엇입니까? OEM/ODM 서비스를 제공할 수 있습니까?

• 우리의 국제 협력 모델에는 주로 국가 또는 지역의 에이전트 또는 유통업체 개발이 포함됩니다. 우리는 대리점 계약을 체결하고 제품 교육 및 가격 책정을 제공하며 직접 판매에는 참여하지 않습니다. 관련 문의 사항은 후속 조치를 위해 상담원에게 전달됩니다. 대리점이 없는 국가나 지역에서는 주로 직접판매를 통해 영업을 하고 있습니다.

• 우리는 OEM/ODM 서비스를 제공할 수 있습니다.