 |
 |
 |
| Forgács alacsony hőmérsékletű tesztállvány | Litográfiai gép rendszerhűtése |
A félvezetőgyártásban, ahol a nanométeres méretű pontosság és az extrém környezeti szabályozás döntő fontosságú, mikromágneses fogaskerék-szivattyúink páratlan teljesítményt nyújtanak a hőkezelés és a folyamatok megbízhatósága terén. Szivattyúink szennyeződésmentes, pontos és rezgésmentes folyadékszállítást biztosítanak a félvezetőgyártás támogatása érdekében.
✅ Litográfiai rendszer Hűtő
EUV és DUV litográfiai rendszerek kivételes hőstabilitást igényelnek az optikai igazítás fenntartásához és a hőeltolódás minimalizálásához. A Suofu mikromágneses fogaskerekes szivattyúi a dielektromos hűtőfolyadékok impulzusmentes keringését biztosítják, így a hőmérséklet ±0,1°C-on belül szabályozható. Mágneses meghajtó mechanizmusunk kiküszöböli a mechanikai vibrációt, megakadályozva az érzékeny optikai alkatrészek zavarását. Ez a stabilitás közvetlenül támogatja az átfedés pontosságát és a hibák csökkentését az ostyamintázati folyamatokban.
✅ Chip kriogén tesztpadok A
félvezetők kriogén hőmérsékleten történő jellemzése megbízható folyadékkezelést igényel a teljesítmény romlása nélkül. Szivattyúink a hűtőfolyadékot akár -120°C hőmérsékleten keringetik, miközben állandó áramlási sebességet tartanak fenn. A szivattyúk fejlett anyagkompatibilitása biztosítja a működési integritást az automatizált szondaállomásokon és a tesztelési beállításokban, lehetővé téve az eszközök pontos jellemzését szélsőséges hőmérsékleti tartományokban.
✅ Rezgésmentes működés: A precíziósan fröccsöntött fogaskerekek és a mágneses hajtás megszünteti a mechanikai vibrációt, ami kritikus a metrológia és a finom igazítás szempontjából.
✅ Ultra-tiszta anyagok: teljes folyadékút-kompatibilitás nagy tisztaságú hűtőfolyadékokkal; opcionális kerámia és PEEK folyadék érintkezők az ionos szennyeződés megakadályozása érdekében.
✅ Hőstabilitás: Teljesítményteszt széles hőmérsékleti tartományban (-120°C és 150°C között) az áramlási pontosság romlása nélkül.
✅ Impulzusmentes áramlás: A szabadalmaztatott hajtómű-kialakítás biztosítja a sima folyadékszállítást, elkerülve a hőmérséklet-ugrásokat vagy -eséseket.
✅ Tömítésmentes és szivárgásmentes: A hermetikusan zárt mágneses meghajtó kiküszöböli a folyadékszivárgás vagy a külső részecskék bejutásának kockázatát.
Akár EUV litográfiai szkennerekbe, szeletvizsgáló berendezésekbe vagy kriogén teszterekbe integrálják, mikromágneses fogaskerék-szivattyúink biztosítják a fejlett félvezetőgyártási folyamatok középpontjában szükséges pontosságot és megbízhatóságot.
Lépjen kapcsolatba velünk , hogy megvitassák hőkezelési vagy precíziós adagolási követelményeit – mérnökcsapatunk a félvezető berendezések gyártói számára készült egyedi megoldásokra specializálódott.
✅ Miért érdemes mágneses fogaskerekes szivattyúkat használni a centrifugálszivattyúk helyett a kriogén tesztelés során?
A mágneses fogaskerekes szivattyúk stabil áramlási sebességet tartanak fenn a viszkozitásváltozások ellenére alacsony hőmérsékleten, míg a centrifugálszivattyúk jelentős teljesítmény-ingadozásokat tapasztalnak. A zárt kialakítás megakadályozza a légköri nedvesség lecsapódását is kriogén környezetben.
✅ Milyen együttműködési modelljei vannak? Tud nyújtani OEM / ODM szolgáltatásokat?
Nemzetközi együttműködési modellünk elsősorban ügynökök vagy forgalmazók fejlesztését foglalja magában országokban vagy régiókban. Ügynöki szerződéseket írunk alá, termékképzést és árképzést biztosítunk, közvetlen értékesítést nem folytatunk. A vonatkozó megkereséseket az ügynökökhöz továbbítják nyomon követés céljából. Azokban az országokban vagy régiókban, ahol nincs bejegyzett ügynök, elsősorban közvetlen értékesítéssel működünk.
OEM / ODM szolgáltatásokat tudunk nyújtani.
