 |
 |
 |
| Chip Low Temperature Test Stand | Litografi maskinsystem kylning |
Inom halvledartillverkning, där noggrannhet i nanometerskala och extrem miljökontroll är avgörande, levererar våra mikromagnetiska kugghjulspumpar oöverträffad prestanda i termisk hantering och processtillförlitlighet. Våra pumpar säkerställer kontamineringsfri, exakt och vibrationsfri vätskeöverföring för att stödja halvledarproduktion.
✅ Litografisystem Kylning
EUV och DUV litografisystem kräver exceptionell termisk stabilitet för att bibehålla optisk inriktning och minimera termisk drift. Suofus mikromagnetiska kugghjulspumpar ger pulsfri cirkulation av dielektriska kylmedel, vilket uppnår temperaturkontroll inom ±0,1°C. Vår magnetiska drivmekanism eliminerar mekaniska vibrationer och förhindrar störningar på känsliga optiska komponenter. Denna stabilitet stöder direkt överlagringsnoggrannhet och defektreduktion i wafermönsterprocesser.
✅ Chipkryogena testbänkar
Halvledarkarakterisering vid kryogena temperaturer kräver pålitlig vätskehantering utan prestandaförsämring. Våra pumpar cirkulerar kylvätskor vid temperaturer så låga som -120°C samtidigt som de bibehåller konsekventa flödeshastigheter. Pumparnas avancerade materialkompatibilitet säkerställer driftintegritet i automatiserade sondstationer och testinställningar, vilket möjliggör noggrann enhetskarakterisering över extrema temperaturintervall.
✅ Vibrationsfri drift: Precisionsgjutna kugghjul och magnetisk drivning eliminerar mekaniska vibrationer, avgörande för metrologi och finjustering.
✅ Ultrarena material: Full vätskebanakompatibilitet med kylvätskor med hög renhet; valfria keramiska och PEEK-vätskekontakter för att förhindra jonkontamination.
✅ Termisk stabilitet: Prestandatestad över breda temperaturområden (-120°C till 150°C) utan försämring av flödesnoggrannheten.
✅ Pulsfritt flöde: Proprietär växeldesign säkerställer smidig vätsketillförsel och undviker temperaturspikar eller fall.
✅ Förseglingsfri och läckfri: Hermetiskt förseglad magnetisk drivning eliminerar risken för vätskeläckage eller inträngning av externa partiklar.
Oavsett om de är integrerade i EUV litografiska skannrar, waferinspektionsutrustning eller kryogena testare, ger våra mikromagnetiska kugghjulspumpar den precision och tillförlitlighet som behövs i hjärtat av avancerade halvledartillverkningsprocesser.
Kontakta oss för att diskutera dina krav på termisk hantering eller precisionsdosering – vårt ingenjörsteam är specialiserat på skräddarsydda lösningar för tillverkare av halvledarutrustning.
✅ Varför använda magnetiska kugghjulspumpar istället för centrifugalpumpar i kryogen testning?
Magnetiska kugghjulspumpar bibehåller stabila flödeshastigheter trots viskositetsförändringar vid låga temperaturer, medan centrifugalpumpar upplever betydande prestandavariationer. Den förseglade designen förhindrar även kondensering av atmosfärisk fukt i kryogena miljöer.
✅ Vilka är dina samarbetsmodeller? Kan du tillhandahålla OEM/ODM-tjänster?
Vår internationella samarbetsmodell involverar i första hand utvecklingsagenter eller distributörer i länder eller regioner. Vi tecknar agenturavtal, tillhandahåller produktutbildning och prissättning och ägnar oss inte åt direktförsäljning. Relevanta förfrågningar vidarebefordras till ombud för uppföljning. I länder eller regioner utan etablerade agenter verkar vi främst genom direktförsäljning.
Vi kan tillhandahålla OEM/ODM-tjänster.
