![]() |
![]() |
![]() |
| Βάση δοκιμής Chip χαμηλής θερμοκρασίας | Ψύξη συστήματος λιθογραφίας |
Στην κατασκευή ημιαγωγών, όπου η ακρίβεια κλίμακας νανομέτρων και ο ακραίος περιβαλλοντικός έλεγχος είναι ζωτικής σημασίας, οι μικρομαγνητικές μας αντλίες με γρανάζια προσφέρουν απαράμιλλη απόδοση στη θερμική διαχείριση και αξιοπιστία διεργασιών. Οι αντλίες μας εξασφαλίζουν μεταφορά υγρού χωρίς μόλυνση, ακριβή και χωρίς κραδασμούς για την υποστήριξη της παραγωγής ημιαγωγών.
✅ Τα συστήματα λιθογραφίας
EUV και DUV ψύξης συστήματος λιθογραφίας απαιτούν εξαιρετική θερμική σταθερότητα για τη διατήρηση της οπτικής ευθυγράμμισης και την ελαχιστοποίηση της θερμικής μετατόπισης. Οι μικρομαγνητικές γραναζωτές αντλίες της Suofu παρέχουν κυκλοφορία χωρίς παλμούς των διηλεκτρικών ψυκτικών υγρών, επιτυγχάνοντας έλεγχο θερμοκρασίας εντός ±0,1°C. Ο μαγνητικός μας μηχανισμός κίνησης εξαλείφει τους μηχανικούς κραδασμούς, αποτρέποντας την ενόχληση σε ευαίσθητα οπτικά εξαρτήματα. Αυτή η σταθερότητα υποστηρίζει άμεσα την ακρίβεια επικάλυψης και τη μείωση των ελαττωμάτων στις διαδικασίες διαμόρφωσης μοτίβων πλακιδίων.
✅ Chip Cryogenic Test Places
Ο χαρακτηρισμός ημιαγωγών σε κρυογονικές θερμοκρασίες απαιτεί αξιόπιστο χειρισμό υγρών χωρίς υποβάθμιση της απόδοσης. Οι αντλίες μας κυκλοφορούν ψυκτικά υγρά σε θερμοκρασίες τόσο χαμηλές όσο -120°C διατηρώντας παράλληλα σταθερούς ρυθμούς ροής. Η προηγμένη συμβατότητα υλικών των αντλιών εξασφαλίζει λειτουργική ακεραιότητα σε αυτοματοποιημένους σταθμούς ανιχνευτών και ρυθμίσεις δοκιμών, επιτρέποντας τον ακριβή χαρακτηρισμό της συσκευής σε ακραίες θερμοκρασίες.
✅ Λειτουργία χωρίς κραδασμούς: Τα χυτά γρανάζια ακριβείας και η μαγνητική κίνηση εξαλείφουν τους μηχανικούς κραδασμούς, κρίσιμους για τη μετρολογία και τη λεπτή ευθυγράμμιση.
✅ Εξαιρετικά καθαρά υλικά: Πλήρης συμβατότητα διαδρομής υγρού με ψυκτικά υψηλής καθαρότητας. προαιρετικές κεραμικές επαφές και υγρές επαφές PEEK για την αποφυγή ιοντικής μόλυνσης.
✅ Θερμική σταθερότητα: Δοκιμασμένη απόδοση σε μεγάλα εύρη θερμοκρασιών (-120°C έως 150°C) χωρίς υποβάθμιση στην ακρίβεια ροής.
✅ Ροή χωρίς παλμούς: Η ιδιόκτητη σχεδίαση γραναζιού εξασφαλίζει ομαλή παροχή υγρού, αποφεύγοντας αιχμές ή πτώσεις θερμοκρασίας.
✅ Χωρίς σφράγιση και χωρίς διαρροές: Η ερμητικά σφραγισμένη μαγνητική κίνηση εξαλείφει τον κίνδυνο διαρροής υγρού ή εισόδου εξωτερικών σωματιδίων.
Είτε είναι ενσωματωμένες σε σαρωτές λιθογραφίας EUV, εξοπλισμό επιθεώρησης πλακιδίων ή κρυογονικούς δοκιμαστές, οι μικρομαγνητικές μας αντλίες με γρανάζια παρέχουν την ακρίβεια και την αξιοπιστία που απαιτούνται στην καρδιά των προηγμένων διαδικασιών κατασκευής ημιαγωγών.
Επικοινωνήστε μαζί μας για να συζητήσουμε τις απαιτήσεις θερμικής διαχείρισης ή δοσομέτρησης ακριβείας—η ομάδα μηχανικών μας ειδικεύεται σε προσαρμοσμένες λύσεις για κατασκευαστές εξοπλισμού ημιαγωγών.
✅ Γιατί να χρησιμοποιείτε αντλίες με μαγνητικά γρανάζια αντί για φυγοκεντρικές αντλίες σε κρυογονικές δοκιμές;
Οι αντλίες με μαγνητικό γρανάζια διατηρούν σταθερούς ρυθμούς ροής παρά τις αλλαγές ιξώδους σε χαμηλές θερμοκρασίες, ενώ οι φυγόκεντρες αντλίες παρουσιάζουν σημαντικές διακυμάνσεις απόδοσης. Ο σφραγισμένος σχεδιασμός αποτρέπει επίσης τη συμπύκνωση της ατμοσφαιρικής υγρασίας σε κρυογονικά περιβάλλοντα.
✅ Ποια είναι τα μοντέλα συνεργασίας σας; Μπορείτε να παρέχετε υπηρεσίες OEM/ODM;
Το μοντέλο διεθνούς συνεργασίας μας περιλαμβάνει κατά κύριο λόγο αναπτυσσόμενους αντιπροσώπους ή διανομείς σε χώρες ή περιοχές. Υπογράφουμε συμφωνίες αντιπροσωπείας, παρέχουμε εκπαίδευση και τιμολόγηση προϊόντων και δεν πραγματοποιούμε απευθείας πωλήσεις. Τα σχετικά ερωτήματα προωθούνται στους πράκτορες για παρακολούθηση. Σε χώρες ή περιοχές χωρίς εγκατεστημένους αντιπροσώπους, δραστηριοποιούμαστε κυρίως μέσω απευθείας πωλήσεων.
Μπορούμε να παρέχουμε υπηρεσίες OEM/ODM.