Mikrogearpumpeløsninger til halvledervæskestyring

Chip lavtemperatur teststand	Litografi maskine system køling

Mikromagnetiske gearpumper til halvlederfremstilling | Præcisionsløsninger til termisk styring

1. Præcisionsvæskehåndtering til avancerede halvlederapplikationer

I halvlederfremstilling, hvor nøjagtighed i nanometerskala og ekstrem miljøkontrol er afgørende, leverer vores mikromagnetiske tandhjulspumper uovertruffen ydeevne inden for termisk styring og procespålidelighed. Vores pumper sikrer kontamineringsfri, præcis og vibrationsfri væskeoverførsel for at understøtte halvlederproduktion.

2. Nøgle halvlederapplikationer

✅ Litografisystem Køling
EUV- og DUV-litografisystemer kræver enestående termisk stabilitet for at opretholde optisk justering og minimere termisk drift. Suofus mikromagnetiske gearpumper giver pulsfri cirkulation af dielektriske kølemidler, hvilket opnår temperaturkontrol inden for ±0,1°C. Vores magnetiske drivmekanisme eliminerer mekaniske vibrationer og forhindrer forstyrrelse af følsomme optiske komponenter. Denne stabilitet understøtter direkte overlejringsnøjagtighed og defektreduktion i wafermønsterprocesser.

✅ Chipkryogene testbænke
Halvlederkarakterisering ved kryogene temperaturer kræver pålidelig væskehåndtering uden forringelse af ydeevnen. Vores pumper cirkulerer kølevæsker ved temperaturer så lave som -120°C, mens de opretholder ensartede strømningshastigheder. Pumpernes avancerede materialekompatibilitet sikrer driftsintegritet i automatiserede sondestationer og testopsætninger, hvilket muliggør nøjagtig karakterisering af enheden på tværs af ekstreme temperaturområder.

3. Hvorfor er vores pumper ideelle til halvledere?

✅ Vibrationsfri drift: Præcisionsstøbte gear og magnetisk drev eliminerer mekaniske vibrationer, som er afgørende for metrologi og finjustering.

✅ Ultra-rene materialer: Fuld væskebanekompatibilitet med kølevæsker med høj renhed; valgfri keramiske og PEEK-væskekontakter for at forhindre ionisk kontaminering.

✅ Termisk stabilitet: Ydeevnetestet over brede temperaturområder (-120°C til 150°C) uden forringelse af flownøjagtigheden.

✅ Pulsfrit flow: Proprietært geardesign sikrer jævn væsketilførsel og undgår temperaturstigninger eller fald.

✅ Forseglingsfri og lækagefri: Hermetisk forseglet magnetisk drev eliminerer risikoen for væskelækage eller ekstern partikelindtrængning.

4. Aktiver højere udbytte med pålidelig væskekontrol

Uanset om de er integreret i EUV-litografiscannere, waferinspektionsudstyr eller kryogene testere, giver vores mikromagnetiske tandhjulspumper den præcision og pålidelighed, der er nødvendig i hjertet af avancerede halvlederfremstillingsprocesser.

Kontakt os  for at diskutere dine krav til termisk styring eller præcisionsdosering – vores ingeniørteam er specialiseret i skræddersyede løsninger til producenter af halvlederudstyr.

5.Ofte stillede spørgsmål

✅ Hvorfor bruge magnetiske tandhjulspumper i stedet for centrifugalpumper i kryogen test?  

• Magnetiske tandhjulspumper opretholder stabile strømningshastigheder på trods af viskositetsændringer ved lave temperaturer, mens centrifugalpumper oplever betydelige ydelsesvariationer. Det forseglede design forhindrer også atmosfærisk fugtkondensering i kryogene miljøer.

✅ Hvad er jeres samarbejdsmodeller? Kan du levere OEM/ODM-tjenester?

• Vores internationale samarbejdsmodel involverer primært udviklingsagenter eller distributører i lande eller regioner. Vi underskriver agenturaftaler, leverer produkttræning og prisfastsættelse og beskæftiger os ikke med direkte salg. Relevante henvendelser videresendes til agenter til opfølgning. I lande eller regioner uden etablerede agenter opererer vi primært gennem direkte salg.

• Vi kan levere OEM / ODM-tjenester.