Micro Gear Pump Solutions for Semiconductor Fluid Control

Chip lavtemperatur teststativ	Litografi maskinsystem kjøling

Mikromagnetiske girpumper for halvlederproduksjon | Presisjonsløsninger for termisk styring

1. Presisjonsvæskehåndtering for avanserte halvlederapplikasjoner

I halvlederproduksjon, hvor nøyaktighet i nanometerskala og ekstrem miljøkontroll er avgjørende, leverer våre mikromagnetiske tannhjulspumper uovertruffen ytelse innen termisk styring og prosesspålitelighet. Våre pumper sikrer forurensningsfri, presis og vibrasjonsfri væskeoverføring for å støtte halvlederproduksjon.

2. Viktige halvlederapplikasjoner

✅ Litografisystem Kjøling
EUV- og DUV-litografisystemer krever eksepsjonell termisk stabilitet for å opprettholde optisk justering og minimere termisk drift. Suofus mikromagnetiske girpumper gir pulsfri sirkulasjon av dielektriske kjølevæsker, og oppnår temperaturkontroll innenfor ±0,1°C. Vår magnetiske drivmekanisme eliminerer mekanisk vibrasjon, og forhindrer forstyrrelse av sensitive optiske komponenter. Denne stabiliteten støtter direkte overleggsnøyaktighet og defektreduksjon i wafermønsterprosesser.

✅ Chip Cryogenic Test Benker
Halvlederkarakterisering ved kryogene temperaturer krever pålitelig væskehåndtering uten forringelse av ytelsen. Våre pumper sirkulerer kjølevæsker ved temperaturer så lave som -120°C samtidig som de opprettholder jevn strømningshastighet. Pumpenes avanserte materialkompatibilitet sikrer driftsintegritet i automatiserte sondestasjoner og testoppsett, noe som muliggjør nøyaktig enhetskarakterisering over ekstreme temperaturområder.

3. Hvorfor våre pumper er ideelle for halvledere?

✅ Vibrasjonsfri drift: Presisjonsstøpte gir og magnetisk drift eliminerer mekanisk vibrasjon, kritisk for metrologi og finjustering.

✅ Ultra-rene materialer: Full væskebanekompatibilitet med kjølevæsker med høy renhet; valgfrie keramiske og PEEK-væskekontakter for å forhindre ionisk kontaminering.

✅ Termisk stabilitet: Ytelsestestet over brede temperaturområder (-120 °C til 150 °C) uten forringelse av strømningsnøyaktigheten.

✅ Pulsfri flyt: Proprietær girdesign sikrer jevn væsketilførsel, unngår temperaturtopper eller fall.

✅ Forseglingsfri og lekkasjefri: Hermetisk forseglet magnetisk stasjon eliminerer risikoen for væskelekkasje eller ekstern partikkelinntrengning.

4. Aktiver høyere avkastning med pålitelig væskekontroll

Enten de er integrert i EUV-litografiskannere, waferinspeksjonsutstyr eller kryogene testere, gir våre mikromagnetiske tannhjulspumper den presisjonen og påliteligheten som trengs i hjertet av avanserte halvlederproduksjonsprosesser.

Kontakt oss  for å diskutere dine krav til termisk styring eller presisjonsdosering – ingeniørteamet vårt spesialiserer seg på tilpassede løsninger for produsenter av halvlederutstyr.

5.Vanlige spørsmål

✅ Hvorfor bruke magnetiske girpumper i stedet for sentrifugalpumper i kryogen testing?  

• Magnetiske girpumper opprettholder stabile strømningshastigheter til tross for viskositetsendringer ved lave temperaturer, mens sentrifugalpumper opplever betydelige ytelsesvariasjoner. Den forseglede designen forhindrer også atmosfærisk fuktighetskondensering i kryogene miljøer.

✅ Hva er samarbeidsmodellene dine? Kan du tilby OEM/ODM-tjenester?

• Vår internasjonale samarbeidsmodell involverer først og fremst utviklingsagenter eller distributører i land eller regioner. Vi signerer byråavtaler, gir produktopplæring og priser, og driver ikke direktesalg. Relevante henvendelser videresendes agenter for oppfølging. I land eller regioner uten etablerte agenter opererer vi primært gjennom direktesalg.

• Vi kan tilby OEM/ODM-tjenester.