![]() |
![]() |
![]() |
| แท่นทดสอบอุณหภูมิต่ำชิป | ระบบระบายความร้อนด้วยเครื่องจักรการพิมพ์หิน |
ในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ ซึ่งความแม่นยำระดับนาโนเมตรและการควบคุมสิ่งแวดล้อมขั้นสูงสุดเป็นสิ่งสำคัญ ปั๊มเกียร์แม่เหล็กขนาดเล็กของเรามอบประสิทธิภาพที่ไม่มีใครเทียบได้ในการจัดการระบายความร้อนและความน่าเชื่อถือของกระบวนการ ปั๊มของเรารับประกันการถ่ายโอนของเหลวที่ปราศจากสิ่งปนเปื้อน แม่นยำ และปราศจากการสั่นสะเทือน เพื่อรองรับการผลิตเซมิคอนดักเตอร์
✅ ระบบระบายความร้อนด้วยการพิมพ์หิน
ระบบการพิมพ์หิน EUV และ DUV ต้องการความเสถียรทางความร้อนเป็นพิเศษ เพื่อรักษาการจัดตำแหน่งทางแสงและลดการเคลื่อนตัวของความร้อนให้เหลือน้อยที่สุด ปั๊มเกียร์แม่เหล็กขนาดเล็กของ Suofu ช่วยให้สารหล่อเย็นไดอิเล็กทริกไหลเวียนแบบไร้พัลส์ โดยสามารถควบคุมอุณหภูมิได้ภายใน ±0.1°C กลไกขับเคลื่อนแม่เหล็กของเราช่วยลดการสั่นสะเทือนทางกล ป้องกันการรบกวนส่วนประกอบทางแสงที่ละเอียดอ่อน ความเสถียรนี้สนับสนุนความแม่นยำของการซ้อนทับและการลดข้อบกพร่องในกระบวนการสร้างแพทเทิร์นเวเฟอร์โดยตรง
✅ ม้านั่งทดสอบไครโอเจนิกแบบชิป
การแสดงคุณลักษณะเฉพาะของเซมิคอนดักเตอร์ที่อุณหภูมิไครโอเจนิกส์ต้องการการจัดการของเหลวที่เชื่อถือได้โดยไม่ทำให้ประสิทธิภาพลดลง ปั๊มของเราหมุนเวียนของเหลวหล่อเย็นที่อุณหภูมิต่ำถึง -120°C ในขณะที่ยังคงอัตราการไหลที่สม่ำเสมอ ความเข้ากันได้ของวัสดุขั้นสูงของปั๊มช่วยให้มั่นใจในความสมบูรณ์ในการทำงานในสถานีโพรบอัตโนมัติและการตั้งค่าการทดสอบ ช่วยให้สามารถระบุคุณลักษณะของอุปกรณ์ได้อย่างแม่นยำตลอดช่วงอุณหภูมิที่สูงมาก
✅ การทำงานที่ปราศจากการสั่นสะเทือน: เกียร์ขึ้นรูปอย่างแม่นยำและระบบขับเคลื่อนแม่เหล็กช่วยลดการสั่นสะเทือนทางกล ซึ่งมีความสำคัญอย่างยิ่งต่อมาตรวิทยาและการจัดตำแหน่งที่ละเอียด
✅ วัสดุที่สะอาดเป็นพิเศษ: ความเข้ากันได้ของเส้นทางของเหลวเต็มรูปแบบกับสารหล่อเย็นที่มีความบริสุทธิ์สูง หน้าสัมผัสเซรามิกและของเหลว PEEK เสริมเพื่อป้องกันการปนเปื้อนของไอออนิก
✅ ความเสถียรทางความร้อน: ผ่านการทดสอบประสิทธิภาพในช่วงอุณหภูมิกว้าง (-120°C ถึง 150°C) โดยไม่ลดทอนความแม่นยำในการไหล
✅ การไหลแบบไม่มีพัลส์: การออกแบบเฟืองที่เป็นกรรมสิทธิ์ช่วยให้ส่งของไหลได้อย่างราบรื่น หลีกเลี่ยงอุณหภูมิที่เพิ่มขึ้นหรือลดลง
✅ ไม่มีการซีลและปราศจากการรั่ว: ไดรฟ์แม่เหล็กที่ปิดสนิทช่วยลดความเสี่ยงของการรั่วไหลของของเหลวหรืออนุภาคภายนอก
ไม่ว่าจะรวมเข้ากับเครื่องสแกนหิน EUV อุปกรณ์ตรวจสอบแผ่นเวเฟอร์ หรือเครื่องทดสอบไครโอเจนิก ปั๊มเกียร์แม่เหล็กขนาดเล็กของเราให้ความแม่นยำและความน่าเชื่อถือที่จำเป็นซึ่งเป็นหัวใจสำคัญของกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ขั้นสูง
ติดต่อเรา เพื่อหารือเกี่ยวกับการจัดการระบายความร้อนหรือข้อกำหนดในการจ่ายที่แม่นยำ ทีมวิศวกรของเราเชี่ยวชาญด้านโซลูชันแบบกำหนดเองสำหรับผู้ผลิตอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์
✅ เหตุใดจึงใช้ปั๊มเกียร์แม่เหล็กแทนปั๊มแรงเหวี่ยงในการทดสอบด้วยความเย็นจัด
ปั๊มเกียร์แบบแม่เหล็กจะรักษาอัตราการไหลให้คงที่ แม้จะมีการเปลี่ยนแปลงความหนืดที่อุณหภูมิต่ำ ในขณะที่ปั๊มแบบแรงเหวี่ยงจะมีสมรรถนะที่เปลี่ยนแปลงไปอย่างมาก การออกแบบที่ปิดสนิทยังป้องกันการควบแน่นของความชื้นในบรรยากาศในสภาพแวดล้อมที่อุณหภูมิเยือกแข็ง
✅ รูปแบบความร่วมมือของคุณคืออะไร? คุณสามารถให้บริการ OEM / ODM ได้หรือไม่?
รูปแบบความร่วมมือระหว่างประเทศของเราเกี่ยวข้องกับการพัฒนาตัวแทนหรือผู้จัดจำหน่ายในประเทศหรือภูมิภาคเป็นหลัก เราลงนามในข้อตกลงตัวแทน ให้การฝึกอบรมผลิตภัณฑ์และราคา และไม่มีส่วนร่วมในการขายตรง คำถามที่เกี่ยวข้องจะถูกส่งต่อไปยังตัวแทนเพื่อติดตามผล ในประเทศหรือภูมิภาคที่ไม่มีตัวแทนจัดตั้งขึ้น เราดำเนินธุรกิจผ่านการขายตรงเป็นหลัก
เราสามารถให้บริการ OEM/ODM