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| チップ低温試験スタンド | リソグラフィー装置システムの冷却 |
ナノメートルスケールの精度と極限の環境制御が重要な半導体製造において、当社のマイクロ磁気ギアポンプは、熱管理とプロセスの信頼性において比類のないパフォーマンスを提供します。当社のポンプは、汚染のない、正確な、振動のない流体移送を保証し、半導体生産をサポートします。
✅ リソグラフィ システムの冷却
EUV および DUV リソグラフィ システムでは、光学アライメントを維持し、熱ドリフトを最小限に抑えるために、優れた熱安定性が必要です。 Suofu のマイクロ磁気ギア ポンプは、誘電体冷却剤のパルスなしの循環を提供し、±0.1°C 以内の温度制御を実現します。当社の磁気駆動機構は機械的振動を排除し、敏感な光学部品への障害を防ぎます。この安定性は、ウェーハパターニングプロセスにおけるオーバーレイ精度と欠陥の削減を直接サポートします。
✅ チップ極低温テストベンチ
極低温での半導体の特性評価には、性能を低下させずに信頼性の高い流体処理が必要です。当社のポンプは、一定の流量を維持しながら、-120°C という低い温度で冷却液を循環させます。ポンプの高度な材料互換性により、自動プローブ ステーションおよびテスト セットアップにおける動作の完全性が確保され、極端な温度範囲にわたって正確なデバイスの特性評価が可能になります。
✅ 振動のない動作: 精密成形されたギアと磁気ドライブにより、計測や精密な位置合わせに重要な機械振動が排除されます。
✅ 超クリーンな材料: 高純度冷却剤との完全な流体経路互換性。オプションのセラミックおよび PEEK 流体接触により、イオン汚染を防止します。
✅ 熱安定性: 流量精度を低下させることなく、幅広い温度範囲 (-120°C ～ 150°C) にわたって性能テスト済み。
✅ パルスフリーフロー: 独自のギア設計により、スムーズな流体供給が保証され、温度の急上昇や低下が回避されます。
✅ シールレスで漏れなし: 密閉された磁気ドライブにより、液体の漏れや外部粒子の侵入のリスクが排除されます。
EUV リソグラフィ スキャナ、ウェーハ検査装置、または極低温テスターに統合されているかどうかにかかわらず、当社のマイクロ磁気ギア ポンプは、高度な半導体製造プロセスの中心に必要な精度と信頼性を提供します。
当社までお問い合わせください。当社のエンジニアリング チームは、半導体装置メーカー向けのカスタム ソリューションを専門としています。 熱管理や精密注入の要件については、
✅ 極低温試験で遠心ポンプの代わりに磁気ギアポンプを使用するのはなぜですか?
磁気ギアポンプは低温での粘度変化にもかかわらず安定した流量を維持しますが、遠心ポンプは性能に大きな変動が生じます。密閉設計により、極低温環境における大気中の水分の結露も防ぎます。
✅ あなたの協力モデルは何ですか? OEM/ODMサービスを提供できますか?
当社の国際協力モデルには主に、国または地域での代理店または販売代理店の開発が含まれます。当社は代理店契約を締結し、製品トレーニングと価格設定を提供しますが、直接販売は行いません。関連する問い合わせは、フォローアップのためにエージェントに転送されます。代理店が確立されていない国や地域では、主に直販で営業を行っております。
OEM/ODMサービスを提供できます。
