 |
 |
 |
| Chip-testbank voor lage temperaturen | Systeemkoeling van lithografiemachine |
Bij de productie van halfgeleiders, waar nauwkeurigheid op nanometerschaal en extreme omgevingsbeheersing cruciaal zijn, leveren onze micromagnetische tandwielpompen ongeëvenaarde prestaties op het gebied van thermisch beheer en procesbetrouwbaarheid. Onze pompen zorgen voor een contaminatievrije, nauwkeurige en trillingsvrije vloeistofoverdracht ter ondersteuning van de halfgeleiderproductie.
✅ Lithografiesysteemkoeling
EUV- en DUV-lithografiesystemen vereisen uitzonderlijke thermische stabiliteit om de optische uitlijning te behouden en thermische drift te minimaliseren. De micromagnetische tandwielpompen van Suofu zorgen voor een pulsvrije circulatie van diëlektrische koelmiddelen, waardoor een temperatuurcontrole binnen ±0,1°C wordt bereikt. Ons magnetische aandrijfmechanisme elimineert mechanische trillingen, waardoor verstoring van gevoelige optische componenten wordt voorkomen. Deze stabiliteit ondersteunt direct de nauwkeurigheid van de overlay en de vermindering van defecten bij wafelpatroonvormingsprocessen.
✅ Chip-cryogene testbanken
Halfgeleiderkarakterisering bij cryogene temperaturen vereist een betrouwbare vloeistofhantering zonder prestatieverlies. Onze pompen circuleren koelvloeistoffen bij temperaturen tot -120°C, terwijl ze een consistent debiet handhaven. De geavanceerde materiaalcompatibiliteit van de pompen zorgt voor operationele integriteit in geautomatiseerde sondestations en testopstellingen, waardoor nauwkeurige apparaatkarakterisering over extreme temperatuurbereiken mogelijk wordt.
✅ Trillingsvrije werking: nauwkeurig gegoten tandwielen en magnetische aandrijving elimineren mechanische trillingen, cruciaal voor metrologie en fijne uitlijning.
✅ Ultraschone materialen: volledige vloeistofpadcompatibiliteit met hoogzuivere koelvloeistoffen; optionele keramische en PEEK-vloeistofcontacten om ionische besmetting te voorkomen.
✅ Thermische stabiliteit: prestatiegetest over een breed temperatuurbereik (-120°C tot 150°C) zonder verslechtering van de stroomnauwkeurigheid.
✅ Pulsvrije stroom: het gepatenteerde tandwielontwerp zorgt voor een soepele vloeistoftoevoer, waardoor temperatuurpieken of -dalingen worden vermeden.
✅ Afdichtingsvrij en lekvrij: hermetisch afgesloten magnetische aandrijving elimineert het risico op vloeistoflekkage of het binnendringen van externe deeltjes.
Of ze nu zijn geïntegreerd in EUV-lithografiescanners, waferinspectieapparatuur of cryogene testers, onze micromagnetische tandwielpompen bieden de precisie en betrouwbaarheid die nodig zijn in het hart van geavanceerde halfgeleiderproductieprocessen.
Neem contact met ons op om uw vereisten op het gebied van thermisch beheer of precisiedosering te bespreken. Ons engineeringteam is gespecialiseerd in op maat gemaakte oplossingen voor fabrikanten van halfgeleiderapparatuur.
✅ Waarom magnetische tandwielpompen gebruiken in plaats van centrifugaalpompen bij cryogene tests?
Magnetische tandwielpompen handhaven stabiele stroomsnelheden ondanks viscositeitsveranderingen bij lage temperaturen, terwijl centrifugaalpompen aanzienlijke prestatievariaties ervaren. Het afgedichte ontwerp voorkomt ook atmosferische vochtcondensatie in cryogene omgevingen.
✅ Wat zijn jouw samenwerkingsmodellen? Kunt u OEM/ODM-diensten leveren?
Ons internationale samenwerkingsmodel omvat voornamelijk het ontwikkelen van agenten of distributeurs in landen of regio's. We ondertekenen agentuurovereenkomsten, bieden producttraining en prijsstelling en houden ons niet bezig met directe verkoop. Relevante vragen worden doorgestuurd naar agenten voor follow-up. In landen of regio's zonder gevestigde agenten opereren wij voornamelijk via directe verkoop.
Wij kunnen OEM/ODM-diensten leveren.
