Jesteś tutaj: Dom » Rozwiązanie » Aplikacja » Rozwiązania w zakresie pomp mikrozębatych do kontroli płynów półprzewodnikowych

Rozwiązania z mikropompami zębatymi do kontroli płynów półprzewodnikowych

3_0000_芯片低温测试台 3_0001_光刻机系统冷却 Ramka 5 (1)
Stanowisko do testowania niskich temperatur chipów Chłodzenie układu maszyny litograficznej

Mikromagnetyczne pompy zębate do produkcji półprzewodników | Precyzyjne rozwiązania w zakresie zarządzania ciepłem

1. Precyzyjne transportowanie płynów w zaawansowanych zastosowaniach półprzewodników

W produkcji półprzewodników, gdzie dokładność w skali nanometrowej i ekstremalna kontrola środowiska mają kluczowe znaczenie, nasze mikromagnetyczne pompy zębate zapewniają niezrównaną wydajność w zakresie zarządzania temperaturą i niezawodności procesu. Nasze pompy zapewniają wolny od zanieczyszczeń, precyzyjny i wolny od wibracji transfer cieczy, wspierając produkcję półprzewodników.


2. Kluczowe zastosowania półprzewodników

✅ System litograficzny Chłodzenie
Systemy litograficzne EUV i DUV wymagają wyjątkowej stabilności termicznej, aby utrzymać wyrównanie optyczne i zminimalizować dryft termiczny. Mikromagnetyczne pompy zębate Suofu zapewniają bezimpulsowy obieg chłodziwa dielektrycznego, osiągając kontrolę temperatury w zakresie ± 0,1°C. Nasz magnetyczny mechanizm napędowy eliminuje wibracje mechaniczne, zapobiegając zakłóceniom wrażliwych elementów optycznych. Ta stabilność bezpośrednio wspiera dokładność nakładania i redukcję defektów w procesach modelowania płytek.

✅ Stanowiska do badań kriogenicznych chipów
Charakterystyka półprzewodników w temperaturach kriogenicznych wymaga niezawodnej obsługi płynów bez pogorszenia wydajności. Nasze pompy tłoczą płyny chłodzące w temperaturach sięgających -120°C, zachowując stałe natężenie przepływu. Zaawansowana kompatybilność materiałowa pomp zapewnia integralność operacyjną w zautomatyzowanych stacjach sond i konfiguracjach testowych, umożliwiając dokładną charakterystykę urządzeń w ekstremalnych zakresach temperatur.


3. Dlaczego nasze pompy są idealne do półprzewodników?

✅ Praca bez wibracji: Precyzyjnie formowane koła zębate i napęd magnetyczny eliminują wibracje mechaniczne, krytyczne dla metrologii i dokładnego ustawienia.

✅ Ultraczyste materiały: pełna kompatybilność ścieżki przepływu płynu z chłodziwami o wysokiej czystości; opcjonalne styki ceramiczne i PEEK, aby zapobiec zanieczyszczeniu jonowemu.

✅ Stabilność termiczna: wydajność została przetestowana w szerokim zakresie temperatur (od -120°C do 150°C) bez pogorszenia dokładności przepływu.

✅ Przepływ bez impulsów: zastrzeżona konstrukcja przekładni zapewnia płynne dostarczanie płynu, unikając skoków i spadków temperatury.

✅ Bez uszczelnień i wycieków: Hermetycznie uszczelniony napęd magnetyczny eliminuje ryzyko wycieku płynu lub wnikania cząstek zewnętrznych.


4. Zwiększ wydajność dzięki niezawodnej kontroli cieczy

Niezależnie od tego, czy są one zintegrowane ze skanerami litograficznymi EUV, sprzętem do kontroli płytek czy testerami kriogenicznymi, nasze mikromagnetyczne pompy zębate zapewniają precyzję i niezawodność niezbędną w sercu zaawansowanych procesów produkcji półprzewodników.

Skontaktuj się z nami  , aby omówić wymagania dotyczące zarządzania temperaturą lub precyzyjnego dozowania — nasz zespół inżynierów specjalizuje się w niestandardowych rozwiązaniach dla producentów sprzętu półprzewodnikowego.


5.FAQ

✅ Po co stosować magnetyczne pompy zębate zamiast pomp odśrodkowych w testach kriogenicznych?  

  • Magnetyczne pompy zębate utrzymują stabilne natężenie przepływu pomimo zmian lepkości w niskich temperaturach, podczas gdy pompy odśrodkowe charakteryzują się znacznymi wahaniami wydajności. Uszczelniona konstrukcja zapobiega również kondensacji wilgoci atmosferycznej w środowiskach kriogenicznych.

✅ Jakie są Wasze modele współpracy? Czy możesz świadczyć usługi OEM/ODM?

  • Nasz model współpracy międzynarodowej obejmuje przede wszystkim rozwój agentów lub dystrybutorów w krajach lub regionach. Podpisujemy umowy agencyjne, zapewniamy szkolenia produktowe i cenowe, nie prowadzimy sprzedaży bezpośredniej. Odpowiednie zapytania są przekazywane agentom w celu podjęcia dalszych działań. W krajach lub regionach, w których nie ma ustalonych agentów, działamy głównie poprzez sprzedaż bezpośrednią.

  • Możemy świadczyć usługi OEM/ODM.

SKONTAKTUJ SIĘ Z NAMI

 +86- 13764319509
 

 Jednostka 01, 23. piętro, wieża 2, Xintai Center, nr 1438 Daduhe Road, dzielnica Putuo, Szanghaj, Chiny.

SZYBKIE LINKI

ZAPISZ SIĘ NA NASZ NEWSLETTER

Prawa autorskie © 2026 Shanghai Super Fluid Industrial Co., Ltd. Wszelkie prawa zastrzeżone.| Mapa witryny    Numer ICP 10209500-2