 |
 |
 |
| Đế kiểm tra nhiệt độ thấp của chip | Làm mát hệ thống máy in thạch bản |
Trong sản xuất chất bán dẫn, nơi độ chính xác ở quy mô nanomet và khả năng kiểm soát môi trường khắc nghiệt là rất quan trọng, bơm bánh răng từ tính siêu nhỏ của chúng tôi mang lại hiệu suất vượt trội trong quản lý nhiệt và độ tin cậy của quy trình. Máy bơm của chúng tôi đảm bảo truyền chất lỏng không bị nhiễm bẩn, chính xác và không bị rung để hỗ trợ sản xuất chất bán dẫn.
✅ Hệ thống in thạch bản Làm mát
Hệ thống in thạch bản EUV và DUV yêu cầu độ ổn định nhiệt đặc biệt để duy trì sự liên kết quang học và giảm thiểu sự trôi dạt nhiệt. Bơm bánh răng vi từ của Suofu cung cấp sự tuần hoàn không xung của chất làm mát điện môi, đạt được khả năng kiểm soát nhiệt độ trong phạm vi ± 0,1°C. Cơ chế truyền động từ tính của chúng tôi giúp loại bỏ rung động cơ học, ngăn chặn sự xáo trộn đối với các bộ phận quang học nhạy cảm. Độ ổn định này trực tiếp hỗ trợ độ chính xác của lớp phủ và giảm khuyết tật trong quy trình tạo khuôn wafer.
✅ Băng thử nghiệm đông lạnh chip
Xác định đặc tính bán dẫn ở nhiệt độ đông lạnh yêu cầu xử lý chất lỏng đáng tin cậy mà không làm giảm hiệu suất. Máy bơm của chúng tôi tuần hoàn chất lỏng làm mát ở nhiệt độ thấp tới -120°C trong khi vẫn duy trì tốc độ dòng chảy ổn định. Khả năng tương thích vật liệu tiên tiến của máy bơm đảm bảo tính toàn vẹn khi vận hành trong các trạm thăm dò tự động và thiết lập thử nghiệm, cho phép mô tả đặc tính thiết bị chính xác trong phạm vi nhiệt độ khắc nghiệt.
✅ Vận hành không rung: Bánh răng được đúc chính xác và truyền động từ tính giúp loại bỏ rung động cơ học, rất quan trọng đối với đo lường và căn chỉnh chính xác.
✅ Vật liệu siêu sạch: Khả năng tương thích hoàn toàn với chất làm mát có độ tinh khiết cao; các điểm tiếp xúc bằng gốm và chất lỏng PEEK tùy chọn để ngăn ngừa ô nhiễm ion.
✅ Độ ổn định nhiệt: Đã được kiểm tra hiệu suất trong phạm vi nhiệt độ rộng (-120°C đến 150°C) mà không làm giảm độ chính xác của dòng chảy.
✅ Dòng chảy không xung: Thiết kế bánh răng độc quyền đảm bảo phân phối chất lỏng trơn tru, tránh tăng hoặc giảm nhiệt độ.
✅ Không bịt kín và không rò rỉ: Ổ đĩa từ được bịt kín giúp loại bỏ nguy cơ rò rỉ chất lỏng hoặc sự xâm nhập của các hạt bên ngoài.
Cho dù được tích hợp vào máy quét thạch bản EUV, thiết bị kiểm tra tấm bán dẫn hay máy kiểm tra đông lạnh, bơm bánh răng vi từ của chúng tôi đều cung cấp độ chính xác và độ tin cậy cần thiết cho quy trình sản xuất chất bán dẫn tiên tiến.
Liên hệ với chúng tôi để thảo luận về các yêu cầu về quản lý nhiệt hoặc định lượng chính xác của bạn—đội ngũ kỹ thuật của chúng tôi chuyên về các giải pháp tùy chỉnh cho các nhà sản xuất thiết bị bán dẫn.
✅ Tại sao nên sử dụng bơm bánh răng từ thay vì bơm ly tâm trong thử nghiệm đông lạnh?
Bơm bánh răng từ tính duy trì tốc độ dòng chảy ổn định mặc dù độ nhớt thay đổi ở nhiệt độ thấp, trong khi bơm ly tâm có sự thay đổi hiệu suất đáng kể. Thiết kế kín cũng ngăn ngừa sự ngưng tụ hơi ẩm trong khí quyển trong môi trường đông lạnh.
✅Mô hình hợp tác của bạn là gì? Bạn có thể cung cấp dịch vụ OEM/ODM không?
Mô hình hợp tác quốc tế của chúng tôi chủ yếu liên quan đến việc phát triển các đại lý hoặc nhà phân phối ở các quốc gia hoặc khu vực. Chúng tôi ký thỏa thuận đại lý, cung cấp đào tạo về sản phẩm và định giá, đồng thời không tham gia bán hàng trực tiếp. Các yêu cầu liên quan sẽ được chuyển đến các đại lý để theo dõi. Ở những quốc gia hoặc khu vực chưa có đại lý, chúng tôi hoạt động chủ yếu thông qua bán hàng trực tiếp.
Chúng tôi có thể cung cấp dịch vụ OEM/ODM.
