Sunteți aici: Acasă » Soluţie » Aplicație » Soluții de micropompe cu angrenaje pentru controlul fluidelor semiconductoare

Soluții de micropompe cu angrenaje pentru controlul fluidelor semiconductoare

3_0000_芯片低温测试台 3_0001_光刻机系统冷却 Cadrul 5 (1)
Chip Stand de testare la temperatură joasă Sistem de răcire a mașinii de litografie

Pompe micro magnetice cu angrenaje pentru fabricarea semiconductoarelor | Soluții de management termic de precizie

1. Manipulare de precizie a fluidelor pentru aplicații avansate de semiconductor

În producția de semiconductori, unde acuratețea la scară nanometrică și controlul extrem de mediu sunt cruciale, pompele noastre cu angrenaje micromagnetice oferă performanțe de neegalat în managementul termic și fiabilitatea procesului. Pompele noastre asigură un transfer de fluid fără contaminare, precis și fără vibrații pentru a susține producția de semiconductori.


2. Aplicații cheie ale semiconductoarelor

✅ Sistem de răcire litografică
Sistemele de litografie EUV și DUV necesită o stabilitate termică excepțională pentru a menține alinierea optică și pentru a minimiza deriva termică. Pompele cu angrenaje micro magnetice de la Suofu asigură circulația fără impulsuri a lichidelor de răcire dielectrice, realizând controlul temperaturii în ±0,1°C. Mecanismul nostru de antrenare magnetică elimină vibrațiile mecanice, prevenind perturbarea componentelor optice sensibile. Această stabilitate sprijină în mod direct acuratețea suprapunerii și reducerea defectelor în procesele de modelare a plachetelor.

✅ Bancuri de testare criogenică cu cip
Caracterizarea semiconductorilor la temperaturi criogenice necesită o manipulare fiabilă a fluidelor fără degradarea performanței. Pompele noastre circulă fluidele de răcire la temperaturi de până la -120°C, menținând în același timp debite constante. Compatibilitatea avansată cu materialele pompelor asigură integritatea operațională în stațiile de sonde automate și configurațiile de testare, permițând caracterizarea precisă a dispozitivului în intervale extreme de temperatură.


3. De ce pompele noastre sunt ideale pentru semiconductor?

✅ Funcționare fără vibrații: angrenajele turnate cu precizie și antrenarea magnetică elimină vibrațiile mecanice, esențiale pentru metrologie și alinierea fină.

✅ Materiale ultra-curate: Compatibilitate completă a traseului fluidului cu lichide de răcire de înaltă puritate; Contacte opționale cu fluide ceramice și PEEK pentru a preveni contaminarea ionică.

✅ Stabilitate termică: Performanță testată în intervale largi de temperatură (-120°C până la 150°C) fără degradarea preciziei debitului.

✅ Flux fără puls: Designul patentat al angrenajului asigură livrarea lină a fluidului, evitând creșterile sau scăderile de temperatură.

✅ Fără etanșare și fără scurgeri: unitatea magnetică sigilată ermetic elimină riscul de scurgere a fluidului sau pătrunderea particulelor externe.


4. Activați randamente mai mari cu un control fiabil al fluidului

Indiferent dacă sunt integrate în scanere de litografie EUV, echipamente de inspecție a plachetelor sau testere criogenice, pompele noastre micro-magnetice cu angrenaje oferă precizia și fiabilitatea necesare în centrul proceselor avansate de fabricație a semiconductoarelor.

Contactați-ne  pentru a discuta despre cerințele dvs. de management termic sau de dozare de precizie — echipa noastră de ingineri este specializată în soluții personalizate pentru producătorii de echipamente de semiconductori.


5.Întrebări frecvente

✅ De ce să folosiți pompe cu angrenaje magnetice în loc de pompe centrifuge în testele criogenice?  

  • Pompele cu angrenaje magnetice mențin debite stabile în ciuda modificărilor de vâscozitate la temperaturi scăzute, în timp ce pompele centrifuge experimentează variații semnificative de performanță. Designul etanș previne, de asemenea, condensarea umidității atmosferice în mediile criogenice.

✅ Care sunt modelele dumneavoastră de cooperare? Puteți oferi servicii OEM/ODM?

  • Modelul nostru de cooperare internațională implică în primul rând dezvoltarea agenților sau distribuitorilor în țări sau regiuni. Semnăm contracte de agenție, oferim instruire și stabilire a prețurilor pentru produse și nu ne angajăm în vânzări directe. Solicitările relevante sunt transmise agenților pentru urmărire. În țări sau regiuni fără agenți stabiliți, activăm în principal prin vânzări directe.

  • Putem oferi servicii OEM/ODM.

CONTACTAŢI-NE

 +86- 13764319509
 

 Unitatea 01, Etajul 23, Turnul 2, Centrul Xintai, No. 1438 Daduhe Road, Districtul Putuo, Shanghai, China.

LINK-URI RAPIDE

ÎNSCRIEȚI-VĂ LA NEWSLETTERUL NOSTRU

Copyright © 2026 Shanghai Super Fluid Industrial Co.,Ltd. Toate drepturile rezervate.| Harta site-ului    沪ICP备10209500号-2